تصنيع أشباه الموصلات والإلكترونيات الاستهلاكية

تُصنع أشباه الموصلات في بيئة شديدة النظافة، وتُجرى بعض عمليات التصنيع في فراغ. على سبيل المثال، تخضع العديد من مكونات أشباه الموصلات، مثل محركات الأقراص الضوئية (CD وVCD وDVD) وليزر أشباه الموصلات المستخدم في اتصالات الألياف الضوئية، والدوائر المتكاملة للموجات الدقيقة المستخدمة في معدات الرادار أو الاتصالات عبر الأقمار الصناعية، وحتى العديد من الدوائر المتكاملة الإلكترونية الدقيقة العادية، لجزء كبير من عملية التصنيع في غرفة مفرغة من الهواء. وكلما كانت درجة الفراغ أعلى، كان أداء الجهاز أفضل.

تستخدم معدات تصنيع أشباه الموصلات محركات خطوية ومحركات مؤازرة وأجزاء نقل ميكانيكية دقيقة لأتمتة العملية والتحكم بها. وفي الوقت نفسه، من المهم أن تعمل المحركات والأجزاء الميكانيكية بكفاءة عالية لفترات طويلة في بيئات ذات فراغ فائق (UHV) ودرجات حرارة عالية/منخفضة، دون إطلاق مواد ضارة تُسبب تلوثًا لبيئات الفراغ.