معدات المعالجة في الفراغ

تُستخدم معدات المعالجة الفراغية لإجراء أنواع مختلفة من عمليات المعالجة أو التقنيات في غرفة مفرغة من الهواء. ويشمل ذلك عمليات مثل إنشاء فراغ، ولحام الفراغ، والطلاء في الفراغ (باستخدام آلات التبخير، والترسيب المغناطيسي، والطلاء الأيوني، والترسيب الكيميائي بالبلازما)، ووضع المواد اللاصقة في الفراغ، والتعبئة، وتنقية المواد في الفراغ.
يجب أن تحتوي معدات المعالجة بالتفريغ على محرك وناقل حركة ميكانيكي يعملان بثبات وموثوقية في بيئة تفريغ عالية لفترة طويلة. كما يجب أن تتميز بأداء منخفض في انبعاث الغازات وعدم تلويث بيئة التفريغ.