محرك سيرفو مقاوم للإشعاع يعمل بتفريغ الهواء من سلسلة KSSM، بدرجات حرارة عالية ومنخفضة | يُستخدم في روبوتات نقل الرقائق

● فرامل آمنة

● جهد الملف 48/110 فولت تيار مستمر

●أطوال كابلات مخصصة

في مصانع أشباه الموصلات المتقدمة، يجب على روبوتات مناولة الرقاقات تنفيذ عمليات التقاط ووضع دقيقة داخل حجرات المعالجة التي تُحافظ على ضغط 10⁻⁷ باسكال. صُمم محرك KSSM المؤازر المقاوم للإشعاع، والمناسب للعمل في ظروف الفراغ العالي والمنخفض، لتلبية هذه المتطلبات القصوى. يستخدم هذا المحرك غلافًا من الفولاذ المقاوم للصدأ وتقنيات إحكام غلق خاصة، مما يُنتج معدلات انبعاث غازات منخفضة للغاية، تحافظ على سلامة الفراغ العالي دون أي تأثير. ضمن نطاق درجة حرارة يتراوح من -196 درجة مئوية إلى +260 درجة مئوية، يُوفر المحرك عزم دوران ثابتًا، سواءً كان مغمورًا في النيتروجين السائل أو مُعرضًا للتجفيف بعد المعالجة. في البيئات التي تتواجد فيها أشعة سينية متناثرة أو حزم إلكترونية، يتحمل هذا المحرك جرعات متراكمة تصل إلى 1×10⁶ غراي، بفضل العزل المُقوى بالإشعاع، ومواد التشحيم، ومكونات التغذية الراجعة. يوفر نظام التغذية الراجعة القائم على محلل الإشارات بيانات دقيقة للموقع مع رفض التداخل الكهرومغناطيسي من مصادر البلازما القريبة. يُركّب محرك سيرفو KSSM المقاوم للإشعاع في درجات الحرارة العالية والمنخفضة، والمُصمم للعمل في الفراغ، مباشرةً على مفاصل الذراع الروبوتية، مما يُغني عن الحاجة إلى قنوات التغذية المغناطيسية السائلة، ويُقلل من التعقيد الميكانيكي، ويُحسّن الاستجابة الديناميكية. يخضع كل محرك سيرفو مقاوم للإشعاع في درجات الحرارة العالية والمنخفضة، والمُصمم للعمل في الفراغ، لاختبارات التجفيف الحراري في الفراغ واختبارات التقادم الإشعاعي قبل الشحن، مما يضمن تشغيلًا سلسًا في بيئات التصنيع ذات الإنتاج الضخم. وقد أدى اعتماد هذا المحرك إلى تحسينات ملموسة في موثوقية نقل الرقاقات وتقليل حوادث الكسر. وسواءً تم تهيئته لمنصات 200 مم أو 300 مم، فإن محرك سيرفو KSSM المقاوم للإشعاع في درجات الحرارة العالية والمنخفضة، والمُصمم للعمل في الفراغ، يُوفر حلاً موثوقًا للحركة. ونتيجةً لذلك، أصبح محرك السيرفو المقاوم للإشعاع في درجات الحرارة العالية والمنخفضة، والمُصمم للعمل في الفراغ، حجر الزاوية في معالجة الرقاقات الحديثة، مما يُؤكد دوره الأساسي في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.