محرك سيرفو فراغي من سلسلة KSSM | يُستخدم في الترسيب البصري الفراغي

● فرامل آمنة

● جهد الملف 48/110 فولت تيار مستمر

●أطوال كابلات مخصصة

يُعدّ الترسيب البصري بالرش الفراغي عمليةً أساسيةً لتصنيع الأغشية الرقيقة البصرية عالية الجودة (مثل الطلاءات المضادة للانعكاس، والطلاءات عالية الانعكاس، والمرشحات البصرية)، ويتطلب ذلك الحفاظ على حجرة الطلاء عند مستوى فراغ فائق يصل إلى 10⁻⁷ باسكال لمنع جزيئات الغاز المتبقية من التأثير على نقاء الغشاء وجودة السطح البيني. في هذه العملية، يحتاج حامل قطعة العمل إلى الدوران المستمر، أو الإمالة، أو التحرك في مسارات معقدة لتحقيق توزيع متجانس لسمك الغشاء وأداء بصري ممتاز. يُعدّ محرك KSSM المؤازر الفراغي خيارًا مثاليًا لتحريك هذه الحركات. وباعتباره محركًا مؤازرًا فراغيًا احترافيًا، يعمل محرك KSSM بكفاءة عالية لفترات طويلة تحت مستوى فراغ فائق يصل إلى 10⁻⁷ باسكال، حيث يضمن غلافه المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ وتصميمه الخاص المانع للتسرب معدلات منخفضة للغاية لتسرب الغازات من المادة، مما يمنع تدهور الفراغ أو تلوث الغشاء البصري نتيجةً لتسرب الغازات. على عكس المحركات التقليدية، يتميز محرك المؤازرة الفراغي هذا بملفات مقاومة لدرجات الحرارة العالية وأنظمة تزييت منخفضة التطاير مصممة خصيصًا لبيئات الفراغ، مما يضمن استقراره وموثوقيته حتى أثناء عمليات إزالة الغازات بالتجفيف عند درجات حرارة تشغيل تصل إلى 260 درجة مئوية. خلال عمليات الطلاء الفعلية، يُركّب محرك المؤازرة الفراغي من سلسلة KSSM مباشرةً داخل حجرة الفراغ، لتشغيل قباب الطلاء البصري أو مراحل الركيزة المستهدفة المستوية، محققًا بذلك "التشغيل المباشر داخل الحجرة" وملغيًا الحاجة إلى موانع التسرب الديناميكية المعقدة وفقدان عزم الدوران الإضافي المرتبط بآليات التغذية التقليدية. يُجهّز هذا المحرك بمحلل كعنصر تغذية راجعة، مما يوفر مناعة قوية ضد التداخل الكهرومغناطيسي، ويُقدّم إشارات دقيقة للسرعة والموضع حتى في بيئات الضوضاء الكهرومغناطيسية القوية الناتجة عن تفريغات البلازما المتوهجة أو قصف مصدر الأيونات. بالنسبة لعمليات الطلاء البصري التي تتطلب تبريدًا عميقًا، يتكيف محرك المؤازرة الفراغي من سلسلة KSSM مع درجات حرارة منخفضة للغاية تصل إلى -196 درجة مئوية، مما يضمن عدم تصلب مواد التزييت وعدم انخفاض طاقة الخرج داخل الحجرات المبردة بالنيتروجين السائل. يمكن لمحركات المؤازرة الفراغية المتعددة العمل بتعاون لتحقيق تحكم متزامن متعدد المحاور، مما يتيح طلاء العناصر البصرية بمسح مسار معقد. بعد اعتماد محرك المؤازرة الفراغي من سلسلة KSSM، يمكن لمعدات الطلاء البصري الاستغناء عن المحركات الخارجية وأختام السوائل المغناطيسية، مما يقلل بشكل كبير من تعقيد النظام ومخاطر التسرب. من الأشعة فوق البنفسجية العميقة إلى الأشعة تحت الحمراء البعيدة، ومن العدسات الاستهلاكية إلى الحمولات البصرية المستخدمة في صناعة الطيران، جعل استخدام محركات المؤازرة الفراغية الإنتاج بكميات كبيرة للأغشية الرقيقة البصرية عالية الجودة ممكنًا. بفضل ميزتيها المزدوجة المتمثلتين في التوافق مع الفراغ العالي جدًا والقدرة على التكيف مع نطاق واسع جدًا من درجات الحرارة، أصبح محرك المؤازرة الفراغي من سلسلة KSSM مكونًا أساسيًا للحركة في معدات الترسيب البصري الفراغي، مما يبرهن تمامًا على القيمة الحاسمة لمحركات المؤازرة الفراغية في تكنولوجيا التصنيع البصري الحديثة.