محركات الخطوة منخفضة الحرارة من سلسلة KVM | تطبيقات في صناعة تصنيع أشباه الموصلات
فراغ · تبريد شديد · درجة حرارة عالية · إشعاع
خيارات
● فرامل آمنة
● ملاحظات المُحلِّل
● عمود إخراج لولبي
● عجلة يدوية
● العمود الخلفي
معلومات الطلب
محركات الخطوة من سلسلة KVM
20/28/35/42/57/60/86 مم
30/32/38/42/48/51/53/60/70/84/86/128 مم
D = عمود مفرد
SZ = عمود مزدوج
فارغ = بدون فرامل
ب = مع الفرامل
فارغ = بدون تعليقات
**R = مع تغذية راجعة من المُحلِّل
| رمز تصنيف درجة الحرارة البيئية | نطاق درجة الحرارة (درجة مئوية) | فئة الفراغ | مقاومة الإشعاع (صالة رياضية، اختياري) |
| RHT | -20 إلى +200 | 10-3 | 106 |
| SHT | -20 إلى +200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20 إلى +150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40 إلى +85 | 10-1 | - |
| NTL2 | -60~+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65~+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80~+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -60~+150 | - | - |
| ملازم | -100~+40 | 10-3 | - |
| SLT | -196~+40 (غير مكثف) | 10-3/10-5/10-7 | - |
| L*H* | مخصص | مخصص | مخصص |
فارغ = غير مفرغ من الهواء
V3 = ضغط منخفض أو فراغ حتى 10-3حسنًا
V5 = فراغ إلى 10-5حسنًا
V7 = فراغ إلى 10-7حسنًا
الفراغ = لا يوجد مقاومة للإشعاع
RH = مقاومة الإشعاع (الجرعة الكلية 10)6(جي)
*لا يمكن تركيب كل من أجهزة الفرامل وأجهزة التغذية الراجعة للموضع على محرك واحد.
**يمكن لشركة Kingsni توفير محول إشارة لتحويل إشارات المحلل إلى مخرج RS485 أو مخرج نبضات تزايدية A/B.
وصف
تتضمن صناعة أشباه الموصلات عمليات أساسية متعددة، تشمل الحفر، وزرع الأيونات، وفحص الرقاقات، والتلدين في درجات حرارة منخفضة. وتتميز بيئة الإنتاج بفراغ فائق، وعمليات في درجات حرارة منخفضة، وإشعاع ضئيل، مما يفرض متطلبات عالية للغاية على أداء مكونات القيادة في درجات الحرارة المنخفضة، ودقة تحديد المواقع، وموثوقيتها. تُعد محركات الخطوة منخفضة الحرارة من سلسلة KVM راسخة في صناعة أشباه الموصلات، ومصممة خصيصًا للعمليات القاسية في درجات الحرارة المنخفضة. تتكامل هذه المحركات بسلاسة في سير عمل إنتاج أشباه الموصلات بأكمله، مما يجعلها الحل الأمثل لتشغيل معدات معالجة الرقاقات. يمكن لهذه المحركات تحقيق مستوى فراغ فائق يصل إلى 10⁻⁷ باسكال. وباستخدام تقنية التشحيم الصلب، لا تُصدر هذه المحركات أي غازات، مما يحافظ على معايير النظافة الفائقة لغرف أشباه الموصلات، ويمنع تلوث الرقاقات بالشوائب، ويضمن استقرار العملية. تم تحسين أداء هذه المحركات في درجات الحرارة المنخفضة بشكل خاص للحفاظ على التشغيل المستقر في البيئات شديدة البرودة، كما أن تصميمها النظيف يلبي تمامًا متطلبات إنتاج غرف التنظيف لأشباه الموصلات.
تتطلب عمليات التبريد العميق لأشباه الموصلات تحكمًا دقيقًا للغاية في درجة الحرارة. وبفضل أدائها الاستثنائي في درجات الحرارة المنخفضة، تعمل هذه المحركات بثبات عند درجات حرارة منخفضة تصل إلى -196 درجة مئوية، كما تتحمل درجات حرارة عالية تصل إلى +200 درجة مئوية، مما يجعلها مناسبة لمتطلبات عمليات متنوعة مثل الحفر بالتبريد العميق والتلدين في درجات حرارة عالية. تحافظ محركات الخطوة منخفضة الحرارة هذه على عزم دوران ثابت ضمن نطاق 0.04-6 نيوتن متر، ما يلبي متطلبات التشغيل للأحمال الخفيفة والثقيلة على حد سواء. وبفضل أحجام الحواف المتوفرة بـ 28 و42 و57 و86 ملم، يمكن دمجها مع نماذج مختلفة من معدات أشباه الموصلات الدقيقة. ولمقاومتها للإشعاع عالي الطاقة في عمليات مثل زرع الأيونات، يمكن لمحرك الخطوة المبرد تحمل شدة إشعاع تصل إلى 1×10⁶ غراي. تتميز دوائرها الداخلية وهيكلها بمقاومتها للتقادم، مما يجعلها مناسبة للإنتاج طويل الأمد والمتواصل على خطوط إنتاج أشباه الموصلات. يضمن استقرار عزم الدوران لمحرك الخطوة المبرد الدقة في معالجة الرقاقات، بينما يعزز تصميمه متعدد المواصفات التوافق مع معدات أشباه الموصلات.
لتلبية احتياجات صناعة أشباه الموصلات من الأتمتة، تدعم هذه المحركات الخطوية منخفضة الحرارة ميزات اختيارية مثل فرامل الأمان، وعجلات التحكم اليدوية، ومستشعرات درجة الحرارة. ويمكنها التكيف مع كلٍ من عمليات الضبط اليدوي وأنماط الإنتاج المؤتمتة بالكامل، مما يعزز سهولة التشغيل وكفاءة الإنتاج. في محطات محاذاة الرقاقات، تحقق هذه المحركات دقة تحديد المواقع على مستوى الميكرون، مما يضمن محاذاة دقيقة بين الرقاقات والمعدات؛ وأثناء التحكم في صمامات التفريغ، تنظم بدقة فتح وإغلاق الحجرة للحفاظ على بيئة تفريغ مستقرة؛ وفي معدات الاختبار المبردة، تدفع هذه المحركات حركة الرقاقات بسلاسة، مما يضمن دقة الاختبار. في ظل ظروف غرف التنظيف الصارمة، يقلل معدل التآكل المنخفض ومعدل الأعطال المنخفض من وقت توقف خط الإنتاج. بفضل قدرتها العالية على التكيف، ودقتها العالية، وعمرها التشغيلي الطويل، تساعد هذه المحركات صناعة أشباه الموصلات على تحقيق إنتاج ذكي عالي الدقة والكفاءة ومنخفض التكلفة، مما يرسخ مكانتها كمكونات أساسية في قطاع تصنيع أشباه الموصلات.
محركات الخطوة من سلسلة KVM
28/42/57/86 مم
32/51/48/60/70/86/128 مم
D = عمود مفرد
SZ = عمود مزدوج
فارغ = بدون فرامل
ب = مع الفرامل
فارغ = بدون تعليقات
**R = مع تغذية راجعة من المُحلِّل
| رمز تصنيف درجة الحرارة البيئية | نطاق درجة الحرارة (درجة مئوية) | فئة الفراغ | مقاومة الإشعاع (صالة رياضية، اختياري) |
| RHT | -20 إلى +200 | 10-3 | 106 |
| SHT | -20 إلى +200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20 إلى +150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40 إلى +85 | 10-1 | - |
| NTL2 | -60~+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65~+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80~+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -60~+150 | - | - |
| ملازم | -100~+40 | 10-3 | - |
| SLT | -196~+40 (غير مكثف) | 10-3/10-5/10-7 | - |
| L*H* | مخصص | مخصص | مخصص |
فارغ = غير مفرغ من الهواء
V3 = ضغط منخفض أو فراغ حتى 10-3حسنًا
V5 = فراغ إلى 10-5حسنًا
V7 = فراغ إلى 10-7حسنًا
الفراغ = لا يوجد مقاومة للإشعاع
RH = مقاومة الإشعاع (الجرعة الكلية 10)6(جي)
*لا يمكن تركيب كل من أجهزة الفرامل وأجهزة التغذية الراجعة للموضع على محرك واحد.
**يمكن لشركة Kingsni توفير محول إشارة لتحويل إشارات المحلل إلى مخرج RS485 أو مخرج نبضات تزايدية A/B.
المواصفات الفنية
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | توصيلات المحرك |
| KVM2832 | 32 | 0.4 | 4.6 | 3.41 | 0.04 | 8 | 0.15 | 4 أسلاك توصيل طائرة |
الرسومات الهندسية
منحنى عزم الدوران والسرعة
تحديد
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | توصيلات المحرك |
| KVM2851 | 51 | 0.5 | 7.49 | 7.62 | 0.10 | 19 | 0.24 | 4 أسلاك توصيل طائرة |
الرسومات الهندسية
منحنى عزم الدوران والسرعة
تحديد
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | قطر الكابل (مم) |
| KVM4248 | 48 | 1.1 | 1.84 | 3.05 | 0.40 | 76 | 0.51 | 4.5 |
الرسومات الهندسية
منحنى عزم الدوران والسرعة
تحديد
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | قطر الكابل (مم) |
| بيئات KVM4260 غير المفرغة من الهواء | 60 | 1.4 | 2.31 | 4.45 | 0.58 | 108 | 0.63 | 4.5 |
| بيئات الفراغ KVM4260 | 60 | 1.1 | 2.31 | 4.45 | 0.5 | 108 | 0.63 | 4.5 |
الرسومات الهندسية
يرجى الاتصال بنا للحصول على رسومات الأبعاد الخاصة بالعمود الخلفي، وعمود إخراج البرغي، وخيارات عجلة اليد.
منحنى عزم الدوران والسرعة
تحديد
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | قطر الكابل (مم) |
| بيئات غير مفرغة من الهواء KVM5770 | 70 | 2.7 | 1.15 | 3.32 | 0.97 | 180 | 1.05 | 4.5 |
| بيئات الفراغ KVM5770 | 70 | 1.9 | 1.15 | 3.32 | 0.8 | 180 | 1.05 | 4.5 |
الرسومات الهندسية
منحنى عزم الدوران والسرعة
تحديد
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | قطر الكابل (مم) |
| KVM5786 بيئات غير مفرغة من الهواء | 86 | 2.7 | 1.43 | 4.05 | 1.2 | 228 | 1.28 | 4.5 |
| بيئات الفراغ KVM5786 | 86 | 1.9 | 1.43 | 4.05 | 0.96 | 228 | 1.28 | 4.5 |
الرسومات الهندسية
يرجى الاتصال بنا للحصول على رسومات الأبعاد الخاصة بالعمود الخلفي، وعمود إخراج البرغي، وخيارات عجلة اليد.
منحنى عزم الدوران والسرعة
تحديد
| رقم الطراز | طول المحرك (مم) | حاضِر (RMS,A) | مقاومة (أوه) | الحث (مللي هنري) | عزم التثبيت (نيوتن متر) | قصور الدوران (جم/سم²) | كتلة (كجم) | قطر الكابل (مم) |
| KVM86128 بيئات غير مفرغة من الهواء | 128 | 6.0 | 0.99 | 5.18 | 6 | 2700 | 4.7 | 5.0 |
| بيئات الفراغ KVM86128 | 128 | 4.28 | 0.73 | 2.97 | 4.4 | 2700 | 4.7 | 5.0 |
الرسومات الهندسية
يرجى الاتصال بنا للحصول على رسومات الأبعاد الخاصة بالعمود الخلفي، وعمود إخراج البرغي، وخيارات عجلة اليد.
منحنى عزم الدوران والسرعة
