Vakuumprozessanlagen werden eingesetzt, um verschiedene Arten von Bearbeitungs- oder technologischen Verfahren in einer Vakuumkammer durchzuführen. Dazu gehören beispielsweise die Erzeugung eines Vakuums, Vakuumschweißen, Beschichten im Vakuum (etwa mittels Verdampfungsanlagen, Magnetron-Sputtern, Ionenbeschichtung und plasmachemischer Abscheidung), Auftragen von Klebstoffen im Vakuum, Abfüllen und Reinigen von Materialien im Vakuum.