3C- und Halbleiterfertigung

Halbleiter werden in einer Reinraumumgebung hergestellt, und einige Prozesse finden im Vakuum statt. Beispielsweise wird ein Großteil der Fertigung vieler Halbleiterbauteile, wie etwa optischer Laufwerke (CD, VCD und DVD), Halbleiterlaser für die Glasfaserkommunikation, Mikrowellen-ICs für Radar- oder Satellitenkommunikationsgeräte und sogar vieler herkömmlicher mikroelektronischer ICs, in einer Vakuumkammer durchgeführt. Je höher die Vakuumklasse, desto besser die Leistung des Bauteils.

Anlagen zur Halbleiterfertigung nutzen Schrittmotoren, Servomotoren und präzise mechanische Getriebeteile zur Automatisierung und Steuerung der Prozesse. Gleichzeitig ist es wichtig, dass die Motoren und mechanischen Teile in Ultrahochvakuum- (UHV) und Hoch-/Tieftemperaturumgebungen über lange Zeit zuverlässig funktionieren, ohne schädliche Substanzen freizusetzen, die das Vakuum verunreinigen könnten.