In-Vakuum-Prozessanlagen

Vakuumprozessanlagen werden eingesetzt, um verschiedene Arten von Bearbeitungs- oder technologischen Verfahren in einer Vakuumkammer durchzuführen. Dazu gehören beispielsweise die Erzeugung eines Vakuums, Vakuumschweißen, Beschichten im Vakuum (etwa mittels Verdampfungsanlagen, Magnetron-Sputtern, Ionenbeschichtung und plasmachemischer Abscheidung), Auftragen von Klebstoffen im Vakuum, Abfüllen und Reinigen von Materialien im Vakuum.
Vakuumverarbeitungsanlagen benötigen einen Motor und ein mechanisches Getriebe, die in einer Hochvakuumumgebung über einen längeren Zeitraum stabil und zuverlässig arbeiten. Sie müssen zudem eine geringe Ausgasung aufweisen und die Vakuumumgebung nicht verunreinigen.