Lösungen für kryogene Umgebungen
KSSM-Serie: Vakuum-Servomotor mit hoher und niedriger Strahlungsbeständigkeit für hohe und niedrige Temperaturen | Einsatz in Wafer-Transportrobotern
Vakuum · Kryogen · Hochtemperatur · Strahlung
Optionen
● Sichere Bremse
● 48/110 VDC Wicklungsspannung
●Kundenspezifische Kabellängen
Bestellinformationen
① Produktserie
Servomotor der KSSM-Serie
② Wicklungsspannung
48 = 48 V DC
220 = 220 V AC
380 = 380 V AC
③ Hublänge
400 = 400 W
750 = 750 W
1800 = 1800W
3800 = 3800W
④ Sichere Bremse
Leer = ohne sichere Bremse
B = mit sicherer Bremse
⑤ Umgebungstemperaturbewertungen
| Umgebungstemperatur-Bewertungscode | Temperaturbereich (℃) | Vakuumklasse (Pa, optional) | Strahlungsresistenz (Gy, optional) |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| SHT | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -60～+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -60～+150 | - | - |
| NTL5 | -80～+40 | 10-3 | - |
| SLT* | -196～+40 | 10-3/10-3/10-3 | - |
| L*H* | individuell angepasst | individuell angepasst | individuell angepasst |
Es wird empfohlen, die Drehzahl des KSSM-Servomotors im SLT-Temperaturbereich (-196 bis +40 °C) auf maximal 300 U/min zu begrenzen. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
⑥ Vakuumklasse
Leer = Nicht-Vakuum
V3 = Niedriger Druck oder Vakuum bis 10-3Also
V5 = Vakuum bis 10-5Also
V7 = Vakuum bis 10-7Also
⑦ Strahlungsbeständigkeit
Leer = Keine Strahlungsresistenz
RH = Strahlenresistenz (Gesamtdosis 106 Gy)
Beschreibung
In modernen Halbleiterfabriken müssen Wafer-Handling-Roboter präzise Pick-and-Place-Sequenzen in Prozesskammern mit einem Druck von 10⁻⁷ Pa ausführen. Der strahlungsbeständige Vakuum-Servomotor der KSSM-Serie für hohe und niedrige Temperaturen wurde speziell für diese extremen Anforderungen entwickelt. Dank seines Edelstahlgehäuses und patentierter Dichtungstechniken ist die Ausgasung so gering, dass die Integrität des Ultrahochvakuums nicht beeinträchtigt wird. Über einen Temperaturbereich von -196 °C bis +260 °C liefert der Servomotor ein konstantes Drehmoment – sowohl in flüssigem Stickstoff als auch nach dem Ausheizen. In Umgebungen mit gestreuter Röntgenstrahlung oder Elektronenstrahlen hält das Gerät dank strahlungsresistenter Isolierung, Schmierstoffen und Rückkopplungskomponenten akkumulierten Dosen von 1 × 10⁶ Gy stand. Ein Resolver-basiertes Rückkopplungssystem liefert absolute Positionsdaten und unterdrückt gleichzeitig elektromagnetische Störungen durch nahegelegene Plasmaquellen. Die direkt an den Gelenken des Roboterarms montierten, vakuumbeständigen Hoch- und Tieftemperatur-Servomotoren der KSSM-Serie machen magnetische Flüssigkeitsdurchführungen überflüssig, reduzieren die mechanische Komplexität und verbessern das dynamische Ansprechverhalten. Jeder dieser Servomotoren wird vor dem Versand einem Vakuum-Ausheiz- und Strahlungsalterungsverfahren unterzogen, um einen störungsfreien Betrieb in der Serienfertigung zu gewährleisten. Der Einsatz dieser Servomotoren hat zu messbaren Verbesserungen der Zuverlässigkeit beim Wafertransport und einer Reduzierung von Bruchfällen geführt. Ob für 200-mm- oder 300-mm-Plattformen konfiguriert, die KSSM-Serie bietet eine zuverlässige Bewegungslösung. Somit hat sich der vakuumbeständige Hoch- und Tieftemperatur-Servomotor zu einem Eckpfeiler des modernen Waferhandlings entwickelt und seine essentielle Rolle in der Halbleiterfertigung unterstrichen.
① Produktserie
Servomotor der KSSM-Serie
② Wicklungsspannung
48 = 48 V DC
220 = 220 V AC
380 = 380 V AC
③ Hublänge
400 = 400 W
750 = 750 W
1800 = 1800W
3800 = 3800W
④ Sichere Bremse
Leer = ohne sichere Bremse
B = mit sicherer Bremse
⑤ Umgebungstemperaturbewertungen
| Umgebungstemperatur-Bewertungscode | Temperaturbereich (℃) | Vakuumklasse (Pa, optional) | Strahlungsresistenz (Gy, optional) |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| SHT | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -60～+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -60～+150 | - | - |
| NTL5 | -80～+40 | 10-3 | - |
| SLT* | -196～+40 | 10-3/10-3/10-3 | - |
| L*H* | individuell angepasst | individuell angepasst | individuell angepasst |
Es wird empfohlen, die Drehzahl des KSSM-Servomotors im SLT-Temperaturbereich (-196 bis +40 °C) auf maximal 300 U/min zu begrenzen. Kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
⑥ Vakuumklasse
Leer = Nicht-Vakuum
V3 = Niedriger Druck oder Vakuum bis 10-3Also
V5 = Vakuum bis 10-5Also
V7 = Vakuum bis 10-7Also
⑦ Strahlungsbeständigkeit
Leer = Keine Strahlungsresistenz
RH = Strahlenresistenz (Gesamtdosis 106 Gy)
Technische Spezifikationen
KSSM-XX-400: Nennleistung 400 W, Wicklungsspannung 48 V AC oder 220 V AC
| Nennleistung (IN) | Wicklungsspannung (V) | Nenndrehmoment (Nm) | Maximales Drehmoment (Nm) | Nenngeschwindigkeit (U/min) | Höchstgeschwindigkeit (U/min) | Bemessungsstrom (Waffen) | Spitzenstrom (Waffen) | Trägheit (Kg·cm²) | Masse (kg) |
| KSSM-48-400 | 48 V DC | 1.27 | 3.8 | 3000 | 5000 | 11 | 33 | 0,32 | 2.4 |
| KSSM-220-400 | 220 V Wechselstrom | 1.27 | 2,5 | 3000 | 5000 | 2.8 | 6.4 | 0,32 | 2.4 |
Maßzeichnungen
Technische Spezifikationen
KSSM-XX-750: Nennleistung 750 W, Wicklungsspannung 48 V AC oder 220 V AC
| Nennleistung (IN) | Wicklungsspannung (V) | Nenndrehmoment (Nm) | Maximales Drehmoment (Nm) | Nenngeschwindigkeit (U/min) | Höchstgeschwindigkeit (U/min) | Bemessungsstrom (Waffen) | Spitzenstrom (Waffen) | Trägheit (Kg·cm²) | Masse (kg) |
| KSSM-48-750 | 48 V DC | 2,39 | 4.8 | 3000 | 4000 | 16 | 48 | 1,32 | 4.2 |
| KSSM-220-750 | 220 V Wechselstrom | 2,39 | 4.8 | 3000 | 5000 | 3,5 | 7 | 1,32 | 4.2 |
Maßzeichnungen
Technische Spezifikationen
KSSM-380-1800: Nennleistung 1800 W, Wicklungsspannung 380 V AC
| Nennleistung (IN) | Wicklungsspannung (V) | Nenndrehmoment (Nm) | Maximales Drehmoment (Nm) | Nenngeschwindigkeit (U/min) | Höchstgeschwindigkeit (U/min) | Bemessungsstrom (Waffen) | Spitzenstrom (Waffen) | Trägheit (Kg·cm²) | Masse (kg) |
| KSSM-380-1800 | 380 V AC | 6 | 18 | 3000 | 3500 | 3,5 | 10,5 | 5.1 | 8.6 |
Maßzeichnungen
Technische Spezifikationen
KSSM-380-3800: Nennleistung 3800 W, Wicklungsspannung 380 V AC
| Nennleistung (IN) | Wicklungsspannung (V) | Nenndrehmoment (Nm) | Maximales Drehmoment (Nm) | Nenngeschwindigkeit (U/min) | Höchstgeschwindigkeit (U/min) | Bemessungsstrom (Waffen) | Spitzenstrom (Waffen) | Trägheit (Kg·cm²) | Masse (kg) |
| KSSM-380-3800 | 380 V AC | 15 | 30 | 2500 | 2800 | 8 | 16 | 11.8 | 10.7 |
Maßzeichnungen
