KSSM-Serie Vakuum-Servomotor | Anwendung in der optischen Vakuumzerstäubung

● Sichere Bremse

● 48/110 VDC Wicklungsspannung

●Kundenspezifische Kabellängen

Die Vakuum-Sputterung ist ein Schlüsselprozess zur Herstellung hochwertiger optischer Dünnschichten (wie Antireflexionsbeschichtungen, Hochreflexionsbeschichtungen und optische Filter). Um zu verhindern, dass Restgasmoleküle die Reinheit der Schicht und die Qualität der Grenzfläche beeinträchtigen, muss die Beschichtungskammer auf einem Ultrahochvakuum von 10⁻⁷ Pa gehalten werden. Dabei muss der Werkstückhalter kontinuierlich rotieren, neigen oder komplexe Bahnen beschreiben, um eine gleichmäßige Schichtdickenverteilung und exzellente optische Eigenschaften zu erzielen. Der Vakuum-Servomotor der KSSM-Serie ist ideal für diese Bewegungen geeignet. Als professioneller Vakuum-Servomotor arbeitet die KSSM-Serie zuverlässig über längere Zeiträume im Ultrahochvakuum von 10⁻⁷ Pa. Das Edelstahlgehäuse und die spezielle Dichtung gewährleisten extrem niedrige Ausgasungsraten und verhindern so eine Beeinträchtigung des Vakuums oder eine Kontamination der optischen Schicht durch Ausgasung. Im Gegensatz zu herkömmlichen Motoren verfügt dieser Vakuum-Servomotor über hochtemperaturbeständige Wicklungen und ein speziell für Vakuumumgebungen entwickeltes Schmiersystem mit niedriger Flüchtigkeit. Dadurch arbeitet er auch während des Ausheizens und Entgasens bei Betriebstemperaturen von bis zu 260 °C stabil und zuverlässig. Bei Beschichtungsprozessen wird der Vakuum-Servomotor der KSSM-Serie direkt in der Vakuumkammer installiert und treibt optische Beschichtungskuppeln oder planare Targetsubstrat-Tische an. Dies ermöglicht einen direkten Antrieb innerhalb der Kammer und eliminiert komplexe dynamische Dichtungen sowie zusätzliche Drehmomentverluste, die bei herkömmlichen Durchführungsmechanismen auftreten. Der Vakuum-Servomotor ist mit einem Resolver als Rückkopplungselement ausgestattet, der eine hohe Immunität gegen elektromagnetische Störungen bietet und selbst in Umgebungen mit starken elektromagnetischen Störungen, wie sie beispielsweise durch Plasma-Glimmentladungen oder Ionenstrahlbeschuss entstehen, präzise Drehzahl- und Positionssignale liefert. Für optische Beschichtungsprozesse, die eine Tieftemperaturkühlung erfordern, ist der Vakuum-Servomotor der KSSM-Serie für extreme Tieftemperaturen von -196 °C geeignet. So wird sichergestellt, dass das Schmiermittel nicht erstarrt und die Ausgangsleistung in flüssigstickstoffgekühlten Kammern nicht abfällt. Mehrere Vakuumservomotoren arbeiten zusammen, um eine mehrachsige Synchronsteuerung zu erreichen und so die Beschichtung optischer Elemente mit komplexen Trajektorien zu ermöglichen. Durch den Einsatz der Vakuumservomotoren der KSSM-Serie können optische Beschichtungsanlagen auf externe Motoren und Magnetdichtungen verzichten, wodurch die Systemkomplexität und das Leckagerisiko deutlich reduziert werden. Vom tiefen Ultraviolett bis zum fernen Infrarot, von Objektiven für Endverbraucher bis hin zu optischen Nutzlasten für die Luft- und Raumfahrt – der Einsatz von Vakuumservomotoren ermöglicht die Serienfertigung hochwertiger optischer Dünnschichten. Die Vakuumservomotoren der KSSM-Serie, die sich durch ihre Kompatibilität mit Ultrahochvakuum und ihren extrem breiten Temperaturbereich auszeichnen, sind zu einer zentralen Antriebskomponente in optischen Vakuum-Sputteranlagen geworden und unterstreichen damit die entscheidende Bedeutung von Vakuumservomotoren in der modernen optischen Fertigungstechnologie.