KVM-Serie Vakuum-Schrittmotoren | Entwickelt für Vakuum-Beschichtungsanlagen

● Sichere Bremse
● Resolver-Feedback
● Schraubenausgangswelle
● Handrad
● Hinterachse

20/28/35/42/57/60/86 mm

30/32/38/42/48/51/53/60/70/84/86/128 mm

D = Einzelwelle

SZ = Doppelwelle

Leer = ohne Bremse
B = mit Bremse

Leer = ohne Feedback

**R = mit Resolver-Rückmeldung

Leer = Nicht-Vakuum

V3 = Niedriger Druck oder Vakuum bis 10^-3Also

V5 = Vakuum bis 10^-5Also

V7 = Vakuum bis 10^-7Also

Leer = Keine Strahlungsresistenz

RH = Strahlungsresistenz (Gesamtdosis 10⁶Gy)

Die Kernprozesse von Vakuumbeschichtungsanlagen erfordern die kontinuierliche Aufrechterhaltung eines Ultrahochvakuums. Da der Beschichtungsprozess Temperaturschwankungen und Spuren von Prozessstrahlung beinhaltet, werden extrem hohe Anforderungen an die Dichtheit, Reinheit und Positioniergenauigkeit der Antriebsmotoren gestellt. Die Vakuum-Schrittmotoren der KVM-Serie sind präzise auf die Bedürfnisse der Beschichtungsindustrie zugeschnitten. Dank ihrer geringen Ausgasung, hohen Dichtleistung und Temperaturstabilität werden sie in verschiedenen Produktionslinien eingesetzt, darunter optische Beschichtung, Metallbeschichtung und Rolle-zu-Rolle-Beschichtung. Diese Vakuum-Schrittmotoren sind zu den zentralen Antriebskomponenten von Beschichtungsanlagen geworden. Sie erfüllen die Ultrahochvakuumnorm von 10⁻⁷ Pa. Durch die Verwendung von speziellem Hochvakuumfett, das keine flüchtigen Verunreinigungen freisetzt, werden Filmverunreinigungen verhindert und die Reinheit und Qualität der Endprodukte sichergestellt. Die hochdichte Konstruktion der Vakuum-Schrittmotoren verhindert effektiv das Eindringen externer Gase in die Kammer und verbessert so die Reinheit der Beschichtungsumgebung. Ihre geringe Ausgasung macht sie zudem zur ersten Wahl in der Beschichtungsindustrie.
Beschichtungsprozesse umfassen einen breiten Temperaturbereich. Vakuum-Schrittmotoren arbeiten stabil in einem breiten Temperaturbereich von -196 °C bis +200 °C und widerstehen den wechselnden Belastungen durch Hochtemperatur-Einbrennprozesse und Tieftemperaturkühlung in der Kammer, ohne zu ruckeln, Synchronisationsverluste zu erleiden oder Leistungseinbußen aufgrund plötzlicher Temperaturänderungen aufzutreten. In den Umgebungen mit geringer Strahlung, die während Beschichtungsprozessen auftreten, weisen die internen Komponenten von Vakuum-Schrittmotoren eine ausgezeichnete Strahlungsbeständigkeit auf. Dadurch können sie langfristiger Strahlung standhalten und die Lebensdauer der Anlage effektiv verlängern. Vakuum-Schrittmotoren sind in verschiedenen Flanschgrößen – 28, 42, 57 und 86 mm – mit Drehmomentbereichen von 0,04 bis 6 Nm erhältlich. Sie lassen sich präzise auf verschiedene Laststationen abstimmen, wie z. B. Targetantrieb, Substrattischantrieb und Betätigung der Vakuumkammertür, und erfüllen somit die Antriebsanforderungen aller Arten von Beschichtungsanlagen. Die stabile Drehmomentabgabe von Vakuum-Schrittmotoren gewährleistet eine gleichmäßige Bewegung der Werkstücke während des Beschichtungsprozesses und verbessert so die Gleichmäßigkeit der Beschichtung. Die Mehrspezifikationsausführung dieser Motoren verbessert auch die Anpassungsfähigkeit der Geräte.
Um den Automatisierungsanforderungen von Beschichtungsanlagen gerecht zu werden, unterstützen Vakuum-Schrittmotoren funktionale Optionen wie Kugelgewindetriebe und Positionsrückmeldung. Dies ermöglicht eine präzise Positionierung im Mikrometerbereich und gewährleistet so eine gleichmäßige und konsistente Beschichtungsdicke. In kontinuierlichen Bahnbeschichtungsanlagen regeln Vakuum-Schrittmotoren die Materialzuführungsspannung präzise; in Anlagen zur Beschichtung optischer Linsen sorgen sie für die Rotation der Werkstücke mit konstanter Geschwindigkeit und deren exakte Ausrichtung; in Metallbeschichtungsanlagen steuern sie die Schwingungsamplitude des Zielmaterials, um die Gleichmäßigkeit der Beschichtung zu verbessern. Dank ihrer stabilen Betriebsleistung und hohen Anpassungsfähigkeit eignen sich Vakuum-Schrittmotoren für alle Arten von Vakuumbeschichtungsanlagen. Mit ihren sauberen, auslaugungsfreien Eigenschaften sowie ihrer Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und Strahlung optimieren sie die Beschichtungsprozesse und reduzieren die Fehlerraten. Die hohe Zuverlässigkeit von Vakuum-Schrittmotoren minimiert Produktionsausfallzeiten und steigert die Produktionseffizienz. Damit sind sie die zentrale Antriebslösung für die hochpräzise Massenproduktion in der Vakuumbeschichtungsindustrie.