KVM-Serie Tieftemperatur-Schrittmotoren | Anwendungen in der Halbleiterindustrie

● Sichere Bremse
● Resolver-Feedback
● Schraubenausgangswelle
● Handrad
● Hinterachse

20/28/35/42/57/60/86 mm

30/32/38/42/48/51/53/60/70/84/86/128 mm

D = Einzelwelle

SZ = Doppelwelle

Leer = ohne Bremse
B = mit Bremse

Leer = ohne Feedback

**R = mit Resolver-Rückmeldung

Leer = Nicht-Vakuum

V3 = Niedriger Druck oder Vakuum bis 10^-3Also

V5 = Vakuum bis 10^-5Also

V7 = Vakuum bis 10^-7Also

Leer = Keine Strahlungsresistenz

RH = Strahlungsresistenz (Gesamtdosis 10⁶Gy)

Die Halbleiterfertigung umfasst mehrere Kernprozesse, darunter Ätzen, Ionenimplantation, Waferinspektion und Tieftemperaturglühen. Die Produktionsumgebung ist durch Ultrahochvakuum, niedrige Betriebstemperaturen und minimale Strahlung gekennzeichnet, was extrem hohe Anforderungen an die Tieftemperaturleistung, Positioniergenauigkeit und Zuverlässigkeit der Antriebskomponenten stellt. Die Tieftemperatur-Schrittmotoren der KVM-Serie sind tief in der Halbleiterindustrie verwurzelt und speziell für anspruchsvolle Tieftemperaturprozesse entwickelt. Diese Motoren integrieren sich nahtlos in den gesamten Halbleiterproduktionsablauf und sind daher die bevorzugte Kernantriebslösung für Waferbearbeitungsanlagen. Sie erreichen ein Ultrahochvakuum von 10⁻⁷ Pa. Dank Festschmierstofftechnologie emittieren sie keine Gase und gewährleisten so die Einhaltung der höchsten Reinheitsstandards in Halbleiterkammern. Dadurch wird die Kontamination der Wafer durch Verunreinigungen verhindert und die Prozessstabilität sichergestellt. Die Tieftemperaturleistung dieser Motoren wurde speziell für einen stabilen Betrieb in extrem kalten Umgebungen optimiert, und ihr sauberes Design erfüllt die Anforderungen der Reinraumproduktion in der Halbleiterindustrie.
Kryogene Halbleiterprozesse erfordern eine extrem präzise Temperaturkontrolle. Dank ihrer außergewöhnlichen Tieftemperaturleistung arbeiten diese Motoren stabil bei extremen Temperaturen bis zu -196 °C und widerstehen gleichzeitig hohen Temperaturen bis zu +200 °C. Dadurch eignen sie sich für verschiedene Prozessanforderungen wie kryogenes Ätzen und Hochtemperaturglühen. Diese Tieftemperatur-Schrittmotoren liefern ein stabiles Drehmoment im Bereich von 0,04–6 Nm und erfüllen somit die Antriebsanforderungen für leichte und schwere Lasten. Mit Flanschgrößen von 28, 42, 57 und 86 mm lassen sie sich in verschiedene Präzisions-Halbleiteranlagen integrieren. Um der hochenergetischen Strahlung in Prozessen wie der Ionenimplantation standzuhalten, übersteht der kryogene Schrittmotor eine Bestrahlungsintensität von 1 × 10⁶ Gy. Seine interne Schaltung und Struktur sind alterungsbeständig und eignen sich daher für den langfristigen, unterbrechungsfreien Einsatz in Halbleiterfertigungslinien. Die Drehmomentstabilität des Kryo-Schrittmotors gewährleistet Präzision bei der Waferbearbeitung, während sein Multi-Spezifikations-Design die Kompatibilität mit Halbleiteranlagen verbessert.
Um den Automatisierungsanforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden, unterstützen diese Niedertemperatur-Schrittmotoren optionale Funktionen wie Sicherheitsbremse, Handräder und Temperatursensoren. Sie eignen sich sowohl für die manuelle Fehlersuche als auch für vollautomatische Produktionsmodi und steigern so Bedienkomfort und Produktionseffizienz. An Wafer-Ausrichtungsstationen erreichen diese Motoren eine Positioniergenauigkeit im Mikrometerbereich und gewährleisten so die präzise Ausrichtung von Wafern und Anlagen. Bei der Vakuumventilsteuerung regeln sie das Öffnen und Schließen der Kammer präzise und halten dadurch ein stabiles Vakuum aufrecht. In kryogenen Testgeräten sorgen diese Motoren für die reibungslose Bewegung der Wafer und gewährleisten so die Testgenauigkeit. Unter den anspruchsvollen Reinraumbedingungen minimieren ihr geringer Verschleiß und ihre niedrige Ausfallrate Produktionsausfallzeiten. Dank ihrer hohen Anpassungsfähigkeit, Präzision und langen Lebensdauer tragen diese Motoren zu einer hochpräzisen, effizienten und kostengünstigen intelligenten Produktion in der Halbleiterindustrie bei und etablieren sich als zentrale Antriebskomponenten in diesem Bereich.