Fabrication de semi-conducteurs 3C et 3D

Les semi-conducteurs sont fabriqués dans un environnement extrêmement propre, et certains procédés sont même réalisés sous vide. Par exemple, de nombreux composants semi-conducteurs, tels que les lecteurs de disques optiques (CD, VCD et DVD), les lasers semi-conducteurs utilisés dans les communications par fibre optique, les circuits intégrés micro-ondes employés dans les radars ou les équipements de communication par satellite, et même de nombreux circuits intégrés microélectroniques courants, sont fabriqués en grande partie sous vide. Plus le niveau de vide est élevé, meilleures sont les performances du dispositif.

Les équipements de fabrication de semi-conducteurs utilisent des moteurs pas à pas, des servomoteurs et des pièces de transmission mécanique de précision pour automatiser et contrôler le processus. Il est essentiel que ces moteurs et pièces mécaniques fonctionnent de manière fiable et durable sous ultravide (UHV) et dans des environnements à températures extrêmes (hautes et basses), sans libérer de substances nocives susceptibles de contaminer le vide.