選項
● 安全煞車
● 解析器回饋
● 螺桿輸出軸
● 手輪
● 後軸
訂購資訊
KVM系列步進電機
20/28/35/42/57/60/86毫米
30/32/38/42/48/51/53/60/70/84/86/128毫米
D = 單軸
SZ = 雙軸
空白 = 無煞車
B = 附煞車
空白 = 無回饋
**R = 帶有解析器回饋
| 環境溫度等級代碼 | 溫度範圍（℃） | 真空級 | 輻射抗性 （Gy，可選） |
| RHT | -20~+200 | 10-3 | 106 |
| 舒爾特 | -20~+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20~+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40~+85 | 10-1 | - |
| NTL2 | -60~+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65~+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80~+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -60~+150 | - | - |
| LT | -100~+40 | 10-3 | - |
| SLT | -196~+40 （非冷凝式） | 10-3/10-5/10-7 | - |
| 左*高* | 客製化 | 客製化 | 客製化 |
空白 = 非真空
V3 = 低壓或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
空白 = 無抗輻射能力
RH = 輻射抗性（總劑量 10）6吉布斯）
*不可能在一台馬達上同時安裝煞車裝置和位置回授裝置。
Kingsni 可提供訊號轉換器，將旋轉變壓器訊號轉換為 RS485 輸出或 A/B 增量脈衝輸出。
描述
半導體製造涉及多個核心工藝，包括蝕刻、離子注入、晶圓檢測和低溫退火。生產環境具有超高真空、低溫和低輻射的特點，對驅動元件的低溫性能、定位精度和可靠性提出了極高的要求。 KVM系列低溫步進馬達深耕半導體產業，專為嚴苛的低溫製程而設計。這些馬達可無縫整合到整個半導體生產流程中，是晶圓加工設備的理想核心驅動解決方案。這些低溫步進馬達可達到10⁻⁷ Pa的超高真空度。採用固體潤滑技術，它們不會產生任何氣體，從而維持半導體潔淨室的超高潔淨度標準，防止晶圓受到雜質污染，確保製程穩定性。這些馬達的低溫性能經過特別優化，可在極寒環境下穩定運行，其潔淨度設計完全滿足半導體潔淨室生產的要求。
半導體低溫製程對溫度控制要求極為嚴格。這些馬達具有卓越的低溫性能，可在低至-196°C的極端溫度下穩定運行，同時也能承受高達+200°C的高溫環境，因此適用於各種製程要求，例如低溫蝕刻和高溫退火。這些低溫步進馬達可在0.04–6 Nm範圍內保持穩定的扭矩，滿足輕載和重載的驅動需求。法蘭尺寸可選28、42、57和86 mm，可與各種型號的精密半導體設備整合。為了承受離子注入等製程的高能量輻射，此低溫步進馬達可承受1×10⁶ Gy的輻射強度。其內部電路和結構具有抗老化性能，使其適用於半導體生產線上的長期不間斷運作。低溫步進馬達的扭力穩定性保證了晶圓加工的精度，而其多規格設計增強了與半導體設備的兼容性。
為了滿足半導體產業的自動化需求，這些低溫步進馬達支援安全煞車、手輪和溫度感測器等選用功能。它們既可適應手動調試，也可適應全自動生產模式，從而提升操作便利性和生產效率。在晶圓對準站，這些馬達可實現微米級定位精度，確保晶圓與設備的精確對準；在真空閥控制中，它們可精確調節真空腔的開閉，以維持穩定的真空環境；在低溫測試設備中，這些馬達驅動晶圓平穩運動，確保測試精度。在嚴苛的無塵室環境下，其低磨損和低故障率可最大限度地減少生產線停機時間。憑藉其強大的適應性、高精度和長使用壽命，這些馬達助力半導體產業實現高精度、高效率、低成本的智慧化生產，成為半導體製造領域的核心驅動組件。
KVM系列步進電機
28/42/57/86毫米
32/51/48/60/70/86/128毫米
D = 單軸
SZ = 雙軸
空白 = 無煞車
B = 附煞車
空白 = 無回饋
**R = 帶有解析器回饋
| 環境溫度等級代碼 | 溫度範圍（℃） | 真空級 | 輻射抗性 （Gy，可選） |
| RHT | -20~+200 | 10-3 | 106 |
| 舒爾特 | -20~+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20~+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40~+85 | 10-1 | - |
| NTL2 | -60~+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65~+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80~+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -60~+150 | - | - |
| LT | -100~+40 | 10-3 | - |
| SLT | -196~+40 （非冷凝式） | 10-3/10-5/10-7 | - |
| 左*高* | 客製化 | 客製化 | 客製化 |
空白 = 非真空
V3 = 低壓或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
空白 = 無抗輻射能力
RH = 輻射抗性（總劑量 10）6吉布斯）
*不可能在一台馬達上同時安裝煞車裝置和位置回授裝置。
Kingsni 可提供訊號轉換器，將旋轉變壓器訊號轉換為 RS485 輸出或 A/B 增量脈衝輸出。
技術規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 馬達接線 |
| KVM2832 | 32 | 0.4 | 4.6 | 3.41 | 0.04 | 8 | 0.15 | 4根飛線 |
尺寸圖
扭力-轉速曲線
規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 馬達接線 |
| KVM2851 | 51 | 0.5 | 7.49 | 7.62 | 0.10 | 19 | 0.24 | 4根飛線 |
尺寸圖
扭力-轉速曲線
規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 電纜直徑（毫米） |
| KVM4248 | 48 | 1.1 | 1.84 | 3.05 | 0.40 | 76 | 0.51 | 4.5 |
尺寸圖
扭力-轉速曲線
規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 電纜直徑（毫米） |
| KVM4260 非真空環境 | 60 | 1.4 | 2.31 | 4.45 | 0.58 | 108 | 0.63 | 4.5 |
| KVM4260 真空環境 | 60 | 1.1 | 2.31 | 4.45 | 0.5 | 108 | 0.63 | 4.5 |
尺寸圖
請聯絡我們索取後軸、螺桿輸出軸和手輪等配件的尺寸圖。
扭力-轉速曲線
規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 電纜直徑（毫米） |
| KVM5770 非真空環境 | 70 | 2.7 | 1.15 | 3.32 | 0.97 | 180 | 1.05 | 4.5 |
| KVM5770 真空環境 | 70 | 1.9 | 1.15 | 3.32 | 0.8 | 180 | 1.05 | 4.5 |
尺寸圖
扭力-轉速曲線
規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 電纜直徑（毫米） |
| KVM5786 非真空環境 | 86 | 2.7 | 1.43 | 4.05 | 1.2 | 228 | 1.28 | 4.5 |
| KVM5786 真空環境 | 86 | 1.9 | 1.43 | 4.05 | 0.96 | 228 | 1.28 | 4.5 |
尺寸圖
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扭力-轉速曲線
規格
| 型號 | 馬達長度 （毫米） | 目前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 電感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛頓米） | 轉子慣性 （克·立方公分） | 大量的 （公斤） | 電纜直徑（毫米） |
| KVM86128 非真空環境 | 128 | 6.0 | 0.99 | 5.18 | 6 | 2700 | 4.7 | 5.0 |
| KVM86128 真空環境 | 128 | 4.28 | 0.73 | 2.97 | 4.4 | 2700 | 4.7 | 5.0 |
尺寸圖
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扭力-轉速曲線
