真空内工艺设备

真空加工设备用于在真空腔内进行各种类型的加工或工艺处理。这包括抽真空、真空焊接、真空镀膜（例如使用蒸发、磁控溅射、离子镀膜和等离子化学沉积等设备）、真空涂胶和填充以及真空提纯等。
真空加工设备需要配备能够在高真空环境下长时间稳定可靠工作的电机和机械传动装置，同时还需具备低释气性能，不会污染真空环境。