订购信息
KLS系列直线运动平台
30 = 30毫米
40 = 40毫米
60 = 60毫米
80 = 80毫米
140 = 135毫米
170 = 170毫米
50、100、150、200、250、300、350、400、450、500、550、600、650、700、750、800、850、900、950、1000、1050、1100、1150、1200、1250、1300、1350、1400、1450、1500
请参考规格表了解可用的行程长度。
2、4、5、10、16、20毫米
请参考规格表了解可用的螺柱规格。
ISC：直列式（带耦合）
PR：右侧平行（高精度齿轮，传动比 1:1）
PL：左侧平行（带高精度齿轮，传动比 1:1）
PB：与直线运动平台平行（采用高精度齿轮，传动比 1:1）
| 环境温度等级代码 | 温度范围 （℃） | 真空级 （Pa，可选） | 辐射抗性 （Gy，可选） |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| 舒尔特 | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -40～+100 | - | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80～+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -55～+150 | - | - |
空白 = 非真空
V3 = 低压或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
空白 = 无抗辐射能力
RH = 辐射抗性（总剂量 10）6吉布斯）
例如
KH42 = KH系列42mm步进电机
KVM57 = KVM系列57mm步进电机
KECM400 = KECM系列400W伺服电机
KSSM750 = KSSM系列750W伺服电机
PB60L2 = PB60 2级减速器（请指定减速器级数，例如 L1 或 L2）
描述
核心视角：光学镀膜中“零污染”和“均匀性”的追求
光学镀膜，特别是激光反射镜和红外减反射层，对薄膜结构的要求极高，必须保证无缺陷。任何颗粒污染都可能造成“针孔”，从而大幅降低激光损伤阈值。标准模块在10⁻⁷ Pa的高真空度下运行，会持续释放水蒸气和碳氢化合物，这些物质在等离子体作用下分解后，会沉积在光学元件上形成吸收性污染层。KLS系列真空线性模块从根本上解决了这个问题。该真空线性模块采用的材料——从导轨、丝杠到电机电缆——均经过严格的脱气率测试，其总质量损失 (TML) 和收集的挥发性冷凝物 (CVCM) 均符合航空航天级标准。
在离子束辅助沉积 (IBAD) 过程中，该真空线性模块必须在高达 +200°C 的基片加热温度下长时间运行。其特殊设计的铁磁流体馈通装置可确保运动馈通法兰处无泄漏。对于某些需要将基片低温捕获在最低 -196°C 的薄膜堆叠进行镀膜时，该真空线性模块同样表现出色，不会出现低温引起的卡滞现象。对于大型科研设施中使用的极紫外 (EUV) 反射镜，镀膜过程对振动极其敏感。KLS 系列真空线性模块采用低纹波驱动算法，可确保在 ±0.01mm 重复运动过程中产生的振幅保持在 50 纳米以下。
在规格选择方面，这款真空线性模块提供两种重型版本，其主体宽度为 170 毫米。其水平最大承重能力为 150 公斤，可支撑直径超过一米的航天级主镜。此外，30 毫米的微型版本则适用于小型实验镀膜机内的移动快门或晶体监视器。值得一提的是，这款真空线性模块可承受 10^6 Gy 的辐射强度，因此可用于核设施抗辐射光学窗口的镀膜后处理。在实际生产中，KLS 系列真空线性模块通常用作镀膜穹顶的“行星驱动装置”：它驱动行星齿轮机构，使光学元件沿预设轨迹在蒸发源上方移动，从而将膜厚不均匀性控制在 0.5% 以下。40 毫米和 60 毫米两种主体宽度版本因其安装简便、易于集成而备受欢迎。此外，这款真空线性模块还具备远程故障诊断功能。如果在 10^-7Pa 真空腔内检测到异常电阻，系统会发出预警，从而避免代价高昂的腔体排气和生产损失。简而言之，如果没有像 KLS 系列这样清洁可靠的真空线性模块，高端光学镀膜就无法从“合格”跃升至“卓越”。
KLS系列直线运动平台
30 = 30毫米
40 = 40毫米
60 = 60毫米
80 = 80毫米
140 = 135毫米
170 = 170毫米
50、100、150、200、250、300、350、400、450、500、550、600、650、700、750、800、850、900、950、1000、1050、1100、1150、1200、1250、1300、1350、1400、1450、1500
请参考规格表了解可用的行程长度。
2、4、5、10、16、20毫米
请参考规格表了解可用的螺柱规格。
ISC：直列式（带耦合）
PR：右侧平行（高精度齿轮，传动比 1:1）
PL：左侧平行（带高精度齿轮，传动比 1:1）
PB：与直线运动平台平行（采用高精度齿轮，传动比 1:1）
| 环境温度等级代码 | 温度范围 （℃） | 真空级 （Pa，可选） | 辐射抗性 （Gy，可选） |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| 舒尔特 | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -40～+100 | - | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80～+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -55～+150 | - | - |
空白 = 非真空
V3 = 低压或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
空白 = 无抗辐射能力
RH = 辐射抗性（总剂量 10）6吉布斯）
例如
KH42 = KH系列42mm步进电机
KVM57 = KVM系列57mm步进电机
KECM400 = KECM系列400W伺服电机
KSSM750 = KSSM系列750W伺服电机
PB60L2 = PB60 2级减速器（请指定减速器级数，例如 L1 或 L2）
技术规格
| 底座结构宽度（毫米） | 30 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50、100、150、200 |
| 螺钉直径（毫米） | 6 |
| 螺距（毫米） | 2 |
| 螺丝精度等级 | C5 |
| 电机安装 | 平行安装（带齿轮），PL/PR/PB可选 |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 3 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 1 |
| 额定推力（牛顿） | 200 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 900 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=5.0 MP=2.8 MY=2.8 |
| 最大速度（毫米/秒） | 20 |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7 （详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 28mm步进电机 |
尺寸图
规格
| 模型 | 冲程长度 （毫米） | 螺纹导引头 （毫米） | 额定水平承载能力 （公斤） | 额定垂直承载能力 （公斤） | 额定推力 （N） | 最高速度 （毫米/秒） | 重复性 （毫米） |
| KLS40 | 50-300 | 4 | 8 | 4 | 500 | 40 | ±0.01 |
规格
| 模型 | 冲程长度 （毫米） | 螺纹导引头 （毫米） | 额定水平承载能力 （公斤） | 额定垂直承载能力 （公斤） | 额定推力 （N） | 最高速度 （毫米/秒） | 重复性 （毫米） |
| KLS60 | 50-600 | 5/10 | 40 | 10 | 1500 | 500 | ±0.01 |
规格
| 模型 | 冲程长度 （毫米） | 螺纹导引头 （毫米） | 额定水平承载能力 （公斤） | 额定垂直承载能力 （公斤） | 额定推力 （N） | 最高速度 （毫米/秒） | 重复性 （毫米） |
| KLS80 | 50-1000 | 2016年5月10日 | 60 | 40 | 2500 | 800 | ±0.01 |
规格
| 模型 | 冲程长度 （毫米） | 螺纹导引头 （毫米） | 额定水平承载能力 （公斤） | 额定垂直承载能力 （公斤） | 额定推力 （N） | 最高速度 （毫米/秒） | 重复性 （毫米） |
| KLS140 | 50-1300 | 2020年5月10日 | 120 | 80 | 4000 | 833 | ±0.01 |
规格
| 模型 | 冲程长度 （毫米） | 螺纹导引头 （毫米） | 额定水平承载能力 （公斤） | 额定垂直承载能力 （公斤） | 额定推力 （N） | 最高速度 （毫米/秒） | 重复性 （毫米） |
| KLS170 | 50-1500 | 5 | 150 | 100 | 3500 | 208 | ±0.01 |
规格
| 底座结构宽度（毫米） | 40 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50、100、150、200、250、300 |
| 螺钉直径（毫米） | 8 |
| 螺距（毫米） | 4 |
| 螺丝精度等级 | C5 |
| 电机安装 | 直列式（带联轴器）/平行式（带齿轮）安装 |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 8 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 4 |
| 额定推力（牛顿） | 500 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 1800 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=12 MP=6 MY=6 |
| 最大速度（毫米/秒） | 40 |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7（详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 42mm步进电机 |
尺寸图
规格
| 底座结构宽度（毫米） | 40 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50、100、150、200、250、300 |
| 螺钉直径（毫米） | 8 |
| 螺距（毫米） | 4 |
| 螺丝精度等级 | C5 |
| 电机安装 | 直列式（带耦合器） |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 8 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 4 |
| 额定推力（牛顿） | 500 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 1800 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=12 MP=6 MY=6 |
| 最大速度（毫米/秒） | 40 |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7（详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 42mm步进电机 |
尺寸图
规格
| 底座结构宽度（毫米） | 60 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50、100、150、200、250、300、350、400、450、500、550、600 |
| 螺钉直径（毫米） | 12 |
| 螺距（毫米） | 5/10 |
| 螺丝精度等级 | C5 |
| 电机安装 | 直列式（带联轴器）/平行式（带齿轮）安装 |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 40 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 10 |
| 额定推力（牛顿） | 1500 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 5100 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=78 MP=43 MY=43 |
| 最大速度（毫米/秒） | 250（400W伺服驱动器）/500（400W伺服驱动器） |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7（详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 57/60mm步进电机，400W伺服电机 |
尺寸图
规格
| 底座结构宽度（毫米） | 80 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50毫米~1000毫米，增量50毫米 |
| 螺钉直径（毫米） | 16 |
| 螺距（毫米） | 2016年5月10日 |
| 螺丝精度等级 | C7（C5 可选） |
| 电机安装 | 直列式（带联轴器）/平行式（带齿轮）安装 |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 60 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 40 |
| 额定推力（牛顿） | 2500 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 10400 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=105 MP=65 MY=65 |
| 最大速度（毫米/秒） | 250（750W伺服驱动器）/500（750W伺服驱动器）/800（750W伺服驱动器） |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7（详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 86mm步进电机，750W伺服电机 |
尺寸图
规格
| 底座结构宽度（毫米） | 140 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50毫米~1300毫米，增量50毫米 |
| 螺钉直径（毫米） | 20 |
| 螺距（毫米） | 5/10/20（螺丝规格为10/20mm，最长行程为500mm） |
| 螺丝精度等级 | C7（C5 可选） |
| 电机安装 | 直列式（带耦合器） |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 120 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 80 |
| 额定推力（牛顿） | 4000 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 28000 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=180 MP=128 MY=128 |
| 最大速度（毫米/秒） | 833（1000W伺服驱动器） |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7（详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 86mm步进电机，1000W伺服电机 |
尺寸图
规格
| 底座结构宽度（毫米） | 170 |
| 行程长度（毫米），可根据要求提供中间长度 | 50毫米~1500毫米，增量50毫米 |
| 螺钉直径（毫米） | 25 |
| 螺距（毫米） | 5 |
| 螺丝精度等级 | C7 |
| 电机安装 | 直列式（带耦合器） |
| 重复性（毫米） | ±0.02 |
| 额定水平载荷能力（公斤） | 150 |
| 额定垂直载荷能力（公斤） | 100 |
| 额定推力（牛顿） | 3500 |
| 螺杆动态承载能力（牛顿） | 9400 |
| 最大侧向力矩（牛米） | MR=810 MP=920 MY=920 |
| 最大速度（毫米/秒） | 208 |
| 工作温度（℃） | 最低温度-196℃/最高温度+200℃（详情请参阅环境等级表） |
| 最大真空度（帕斯卡） | 10-7（详情请参阅环境评级表） |
| 辐射抗性(Gy) | 106 |
| 改装电机 | 1000W伺服电机，可根据实际负载选择是否带减速器。 |