低温环境解决方案
选项
● 安全刹车
● 48/110VDC绕组电压
●定制电缆长度
订购信息
① 产品系列
KSSM系列伺服电机
② 绕组电压
48=48VDC
220=220VAC
380=380VAC
③ 行程长度
400 = 400瓦
750 = 750瓦
1800 = 1800瓦
3800 = 3800瓦
④ 安全刹车
空白 = 没有安全刹车
B = 安全制动
⑤ 环境温度等级
| 环境温度等级代码 | 温度范围（℃） | 真空级 （Pa，可选） | 辐射抗性 （Gy，可选） |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| 舒尔特 | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -60～+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -60～+150 | - | - |
| NTL5 | -80～+40 | 10-3 | - |
| SLT* | -196～+40 | 10-3/10-3/10-3 | - |
| 左*高* | 定制 | 定制 | 定制 |
*建议KSSM伺服电机在SLT温度范围（-196至+40℃）内运行时，转速限制在最高300rpm。详情请联系我们。
⑥ 真空级
空白 = 非真空
V3 = 低压或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
⑦ 抗辐射能力
空白 = 无抗辐射能力
RH = 抗辐射能力（总剂量 106Gy）
描述
在先进的半导体制造厂中，晶圆搬运机器人必须在维持在 10⁻⁷ Pa 的工艺腔室内执行精确的拾取和放置操作。KSSM 系列真空高低温耐辐射伺服电机专为满足这些极端要求而设计。该伺服电机采用不锈钢外壳和专有的密封技术，使其气体逸出率极低，从而确保超高真空的完整性不受损害。在 -196℃ 至 +260℃ 的温度范围内，无论浸入液氮中还是经受后处理烘烤，该伺服电机都能提供稳定的扭矩。对于存在散射 X 射线或电子束的环境，得益于抗辐射绝缘、润滑和反馈组件，该装置可承受 1×10⁶ Gy 的累积剂量。基于旋转变压器的反馈系统可提供绝对位置数据，同时抑制来自附近等离子体源的电磁干扰。 KSSM系列真空高低温耐辐射伺服电机直接安装在机械臂关节处，无需磁流体馈通，从而降低了机械结构的复杂性并提高了动态响应能力。每台KSSM系列真空高低温耐辐射伺服电机在出厂前均经过真空烘烤和辐射老化处理，确保在大批量生产环境中稳定运行。采用该系列真空高低温耐辐射伺服电机显著提高了晶圆传输的可靠性，并减少了破损事故的发生。无论配置用于200毫米还是300毫米平台，KSSM系列真空高低温耐辐射伺服电机都能提供可靠的运动解决方案。因此，该系列真空高低温耐辐射伺服电机已成为现代晶圆处理的关键部件，巩固了其在半导体前端加工中的重要地位。
① 产品系列
KSSM系列伺服电机
② 绕组电压
48=48VDC
220=220VAC
380=380VAC
③ 行程长度
400 = 400瓦
750 = 750瓦
1800 = 1800瓦
3800 = 3800瓦
④ 安全刹车
空白 = 没有安全刹车
B = 安全制动
⑤ 环境温度等级
| 环境温度等级代码 | 温度范围（℃） | 真空级 （Pa，可选） | 辐射抗性 （Gy，可选） |
| RHT | -20～+200 | 10-3 | 106 |
| 舒尔特 | -20～+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20～+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40～+85 | 10-3/10-5 | - |
| NTL2 | -60～+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65～+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -60～+150 | - | - |
| NTL5 | -80～+40 | 10-3 | - |
| SLT* | -196～+40 | 10-3/10-3/10-3 | - |
| 左*高* | 定制 | 定制 | 定制 |
*建议KSSM伺服电机在SLT温度范围（-196至+40℃）内运行时，转速限制在最高300rpm。详情请联系我们。
⑥ 真空级
空白 = 非真空
V3 = 低压或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
⑦ 抗辐射能力
空白 = 无抗辐射能力
RH = 抗辐射能力（总剂量 106Gy）
技术规格
KSSM-XX-400：额定功率400W，绕组电压48VAC或220VAC
| 额定功率 （在） | 绕组电压 （五） | 额定扭矩 （牛米） | 峰值扭矩 （牛米） | 额定速度 （转/分） | 最高速度 （转/分） | 额定电流 （武器） | 峰值电流 （武器） | 惯性 （千克·平方厘米） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-48-400 | 48V直流 | 1.27 | 3.8 | 3000 | 5000 | 11 | 33 | 0.32 | 2.4 |
| KSSM-220-400 | 220伏交流电 | 1.27 | 2.5 | 3000 | 5000 | 2.8 | 6.4 | 0.32 | 2.4 |
尺寸图
技术规格
KSSM-XX-750：额定功率750W，绕组电压48VAC或220VAC
| 额定功率 （在） | 绕组电压 （五） | 额定扭矩 （牛米） | 峰值扭矩 （牛米） | 额定速度 （转/分） | 最高速度 （转/分） | 额定电流 （武器） | 峰值电流 （武器） | 惯性 （千克·平方厘米） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-48-750 | 48V直流 | 2.39 | 4.8 | 3000 | 4000 | 16 | 48 | 1.32 | 4.2 |
| KSSM-220-750 | 220伏交流电 | 2.39 | 4.8 | 3000 | 5000 | 3.5 | 7 | 1.32 | 4.2 |
尺寸图
技术规格
KSSM-380-1800：额定功率1800W，绕组电压380VAC
| 额定功率 （在） | 绕组电压 （五） | 额定扭矩 （牛米） | 峰值扭矩 （牛米） | 额定速度 （转/分） | 最高速度 （转/分） | 额定电流 （武器） | 峰值电流 （武器） | 惯性 （千克·平方厘米） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-380-1800 | 380伏交流电 | 6 | 18 | 3000 | 3500 | 3.5 | 10.5 | 5.1 | 8.6 |
尺寸图
技术规格
KSSM-380-3800：额定功率 3800W，绕组电压 380VAC
| 额定功率 （在） | 绕组电压 （五） | 额定扭矩 （牛米） | 峰值扭矩 （牛米） | 额定速度 （转/分） | 最高速度 （转/分） | 额定电流 （武器） | 峰值电流 （武器） | 惯性 （千克·平方厘米） | 大量的 （公斤） |
| KSSM-380-3800 | 380伏交流电 | 15 | 30 | 2500 | 2800 | 8 | 16 | 11.8 | 10.7 |
尺寸图
