KSSM系列真空伺服电机 | 应用于真空光学溅射

● 安全刹车

● 48/110VDC绕组电压

●定制电缆长度

真空光学溅射是制造高质量光学薄膜（例如减反射涂层、高反射涂层和光学滤波器）的关键工艺，要求镀膜腔维持在10⁻⁷ Pa的超高真空度，以防止残留气体分子影响薄膜纯度和界面质量。在此过程中，工件夹具需要连续旋转、倾斜或沿复杂轨迹移动，以实现均匀的薄膜厚度分布和优异的光学性能。KSSM系列真空伺服电机是驱动此类运动的理想选择。作为一款专业的真空伺服电机，KSSM系列在10⁻⁷ Pa超高真空下可长时间可靠运行，其不锈钢外壳和特殊的密封设计确保了极低的材料逸气率，从而防止因逸气而导致的真空度下降或光学薄膜污染。与传统电机不同，这款真空伺服电机采用耐高温绕组和专为真空环境设计的低波动润滑系统，即使在高达 260℃ 的工作温度下进行烘烤脱气工艺，也能保持稳定可靠。在实际镀膜过程中，KSSM 系列真空伺服电机直接安装在真空腔内，驱动光学镀膜罩或平面靶基台，实现“腔内直接驱动”，无需复杂的动态密封，也避免了传统馈通机构带来的额外扭矩损失。该真空伺服电机配备旋转变压器作为反馈元件，具有极强的抗电磁干扰能力，即使在等离子体辉光放电或离子源轰击产生的强电磁噪声环境下，也能提供精确的速度和位置信号。对于需要深度低温冷却的光学镀膜工艺，KSSM 系列真空伺服电机可适应 -196℃ 的极低温环境，确保润滑油不会凝固，输出功率也不会在液氮冷却腔内降低。多台真空伺服电机可协同工作，实现多轴同步控制，从而实现光学元件的复杂轨迹扫描镀膜。采用KSSM系列真空伺服电机后，光学镀膜设备无需外部电机和磁流体密封，显著降低了系统复杂性和泄漏风险。从深紫外到远红外，从消费级镜头到航空航天级光学载荷，真空伺服电机的应用使得高质量光学薄膜的大批量生产成为可能。KSSM系列真空伺服电机兼具超高真空兼容性和超宽温度范围适应性的双重优势，已成为真空光学溅射设备的核心运动部件，充分展现了真空伺服电机在现代光学制造技术中的关键价值。