选项
● 安全刹车
● 解析器反馈
● 螺杆输出轴
● 手轮
● 后轴
订购信息
KVM系列步进电机
20/28/35/42/57/60/86毫米
30/32/38/42/48/51/53/60/70/84/86/128毫米
D = 单轴
SZ = 双轴
空白 = 无刹车
B = 带刹车
空白 = 无反馈
**R = 带有解析器反馈
| 环境温度等级代码 | 温度范围（℃） | 真空级 | 辐射抗性 （Gy，可选） |
| RHT | -20~+200 | 10-3 | 106 |
| 舒尔特 | -20~+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20~+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40~+85 | 10-1 | - |
| NTL2 | -60~+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65~+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80~+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -60~+150 | - | - |
| LT | -100~+40 | 10-3 | - |
| SLT | -196~+40 （非冷凝式） | 10-3/10-5/10-7 | - |
| 左*高* | 定制 | 定制 | 定制 |
空白 = 非真空
V3 = 低压或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
空白 = 无抗辐射能力
RH = 辐射抗性（总剂量 10）6吉布斯）
*不可能在一台电机上同时安装制动装置和位置反馈装置。
Kingsni 可提供信号转换器，将旋转变压器信号转换为 RS485 输出或 A/B 增量脉冲输出。
描述
半导体制造涉及多个核心工艺，包括刻蚀、离子注入、晶圆检测和低温退火。生产环境具有超高真空、低温和低辐射的特点，对驱动元件的低温性能、定位精度和可靠性提出了极高的要求。KVM系列低温步进电机深耕半导体行业，专为严苛的低温工艺而设计。这些电机可无缝集成到整个半导体生产流程中，是晶圆加工设备的理想核心驱动解决方案。这些低温步进电机可实现10⁻⁷ Pa的超高真空度。采用固体润滑技术，它们不产生任何气体，从而维持半导体洁净室的超高洁净度标准，防止晶圆受到杂质污染，确保工艺稳定性。这些电机的低温性能经过特别优化，可在极寒环境下稳定运行，其洁净度设计完全满足半导体洁净室生产的要求。
半导体低温工艺对温度控制要求极其严格。这些电机具有卓越的低温性能，可在低至-196°C的极端温度下稳定运行，同时也能承受高达+200°C的高温环境，因此适用于各种工艺要求，例如低温刻蚀和高温退火。这些低温步进电机可在0.04–6 Nm范围内保持稳定的扭矩，满足轻载和重载的驱动需求。法兰尺寸可选28、42、57和86 mm，可与各种型号的精密半导体设备集成。为了承受离子注入等工艺中的高能辐射，该低温步进电机可承受1×10⁶ Gy的辐射强度。其内部电路和结构具有抗老化性能，使其适用于半导体生产线上的长期不间断运行。低温步进电机的扭矩稳定性保证了晶圆加工的精度，而其多规格设计增强了与半导体设备的兼容性。
为了满足半导体行业的自动化需求，这些低温步进电机支持安全制动、手轮和温度传感器等可选功能。它们既可适应手动调试，也可适应全自动生产模式，从而提升操作便捷性和生产效率。在晶圆对准站，这些电机可实现微米级定位精度，确保晶圆与设备的精确对准；在真空阀控制中，它们可精确调节真空腔的开闭，以维持稳定的真空环境；在低温测试设备中，这些电机驱动晶圆平稳运动，确保测试精度。在严苛的洁净室环境下，其低磨损和低故障率可最大限度地减少生产线停机时间。凭借其强大的适应性、高精度和长使用寿命，这些电机助力半导体行业实现高精度、高效率、低成本的智能化生产，成为半导体制造领域的核心驱动组件。
KVM系列步进电机
28/42/57/86毫米
32/51/48/60/70/86/128毫米
D = 单轴
SZ = 双轴
空白 = 无刹车
B = 带刹车
空白 = 无反馈
**R = 带有解析器反馈
| 环境温度等级代码 | 温度范围（℃） | 真空级 | 辐射抗性 （Gy，可选） |
| RHT | -20~+200 | 10-3 | 106 |
| 舒尔特 | -20~+200 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| HT | -20~+150 | 10-3/10-5/10-7 | - |
| NTL1 | -40~+85 | 10-1 | - |
| NTL2 | -60~+120 | 10-3/10-5 | - |
| NTL3 | -65~+125 | 10-3 | - |
| NTL4 | -80~+40 | 10-3 | - |
| NTL5 | -60~+150 | - | - |
| LT | -100~+40 | 10-3 | - |
| SLT | -196~+40 （非冷凝式） | 10-3/10-5/10-7 | - |
| 左*高* | 定制 | 定制 | 定制 |
空白 = 非真空
V3 = 低压或真空至 10-3出色地
V5 = 真空至 10-5出色地
V7 = 真空至 10-7出色地
空白 = 无抗辐射能力
RH = 辐射抗性（总剂量 10）6吉布斯）
*不可能在一台电机上同时安装制动装置和位置反馈装置。
Kingsni 可提供信号转换器，将旋转变压器信号转换为 RS485 输出或 A/B 增量脉冲输出。
技术规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电机接线 |
| KVM2832 | 32 | 0.4 | 4.6 | 3.41 | 0.04 | 8 | 0.15 | 4根飞线 |
尺寸图
扭矩-转速曲线
规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电机接线 |
| KVM2851 | 51 | 0.5 | 7.49 | 7.62 | 0.10 | 19 | 0.24 | 4根飞线 |
尺寸图
扭矩-转速曲线
规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电缆直径（毫米） |
| KVM4248 | 48 | 1.1 | 1.84 | 3.05 | 0.40 | 76 | 0.51 | 4.5 |
尺寸图
扭矩-转速曲线
规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电缆直径（毫米） |
| KVM4260 非真空环境 | 60 | 1.4 | 2.31 | 4.45 | 0.58 | 108 | 0.63 | 4.5 |
| KVM4260 真空环境 | 60 | 1.1 | 2.31 | 4.45 | 0.5 | 108 | 0.63 | 4.5 |
尺寸图
请联系我们索取后轴、螺杆输出轴和手轮等配件的尺寸图纸。
扭矩-转速曲线
规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电缆直径（毫米） |
| KVM5770 非真空环境 | 70 | 2.7 | 1.15 | 3.32 | 0.97 | 180 | 1.05 | 4.5 |
| KVM5770 真空环境 | 70 | 1.9 | 1.15 | 3.32 | 0.8 | 180 | 1.05 | 4.5 |
尺寸图
扭矩-转速曲线
规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电缆直径（毫米） |
| KVM5786 非真空环境 | 86 | 2.7 | 1.43 | 4.05 | 1.2 | 228 | 1.28 | 4.5 |
| KVM5786 真空环境 | 86 | 1.9 | 1.43 | 4.05 | 0.96 | 228 | 1.28 | 4.5 |
尺寸图
请联系我们索取后轴、螺杆输出轴和手轮等配件的尺寸图纸。
扭矩-转速曲线
规格
| 型号 | 电机长度 （毫米） | 当前的 （RMS，A） | 反抗 （哦） | 电感 （毫亨） | 保持扭矩 （牛米） | 转子惯性 （克·立方厘米） | 大量的 （公斤） | 电缆直径（毫米） |
| KVM86128 非真空环境 | 128 | 6.0 | 0.99 | 5.18 | 6 | 2700 | 4.7 | 5.0 |
| KVM86128 真空环境 | 128 | 4.28 | 0.73 | 2.97 | 4.4 | 2700 | 4.7 | 5.0 |
尺寸图
请联系我们索取后轴、螺杆输出轴和手轮等配件的尺寸图纸。
扭矩-转速曲线
