ZJSYS高真空三轴平台

专为超高真空环境设计的精密材料输送平台，为真空工艺工作流程提供可靠、灵活的输送解决方案。

公司简介

成都金斯尼科技有限公司专业从事电机驱动、机械传动装置的研究、开发、制造和应用。 运动控制 我们为真空、低温、高温和辐射等极端环境提供产品和解决方案。凭借多年的技术积累和行业经验，我们已成为极端环境运动控制解决方案的领先供应商。

核心产品：ZJSYS高真空三轴平台

ZJSYS高真空三轴平台是专为在超高真空环境下进行精密材料转移而设计的核心设备。其工作温度范围为-20°C至+200°C，工作真空度为10⁻⁶ ppm。^-5Pa 具有卓越的多功能性、稳定性和真空洁净度。它为各种高节奏的真空工艺工作流程提供了一个可靠且灵活的精密传输平台。

核心性能规格

• 工作温度范围：-20°C 至 +200°C
• 真空要求：10^-5帕超高真空
• 动态性能：高速、高精度三轴运动
• 结构材料：全304不锈钢结构

应用适应性

ZJSYS高真空三轴平台采用全304不锈钢结构，设计紧凑而刚性极高，并具备高速、高精度的三轴运动能力，能够满足对洁净度要求严格、功能多样、空间有限、节奏快、可靠性要求极高的应用需求。它是各种真空腔内产品转移、工位切换和精密对准的理想之选。

结构特征

• 全304不锈钢结构：耐腐蚀、易于清洁、真空兼容性极佳。
• 结构紧凑且高度坚固的设计：空间利用率高，运动稳定性好。
• 高洁净度保证：符合严格的洁净室要求。
• 模块化设计：可灵活适应各种应用需求。

应用领域

• 半导体制造：晶圆转移、真空镀膜、蚀刻工艺中的材料处理。
• 科研设备：同步辐射光源、电子显微镜、真空实验装置。
• 精密光学器件：光学镀膜、镜头制造、精密光学加工。
• 航天：航天器部件测试、真空环境模拟、特殊材料加工。

为什么选择 ZJSYS 三轴平台？

• 卓越的多功能性：能够适应多样化、快节奏的真空工艺工作流程的需求。
• 极致稳定性：在极端环境下保持长期稳定运行。
• 极佳的真空清洁度：符合最严格的清洁标准。
• 灵活的空间适应性：紧凑的设计使其适合空间有限的场所，同时保持了很高的刚性。

真空传输技术领域的一项创新性工作

ZJSYS高真空三轴平台不仅仅是一个物料传送装置，更是真空过程自动化的核心部件。它完美融合了高速、高精度、高洁净度和极强的环境适应性，为现代高端制造和前沿科学研究提供了可靠的物料传送保障。

“在极致真空环境下，以精准实现无限可能！”